特許

J-GLOBAL ID：200903008165414817

半導体装置

発明者： 熊谷 敬 ,  竹内 正浩 ,  小平 覚 ,  野田 貴史
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-109309
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291782
出願日： 2000年04月11日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】 メモリセルの小型化が可能なSRAMを提供すること。【解決手段】 半導体装置は、SRAM部と、ロジック回路部と、を同一の半導体基板に形成している。第1層導電層であるゲート電極層21a、21bと、第2層導電層であるドレイン-ドレイン接続層31a、31bと、第3層導電層であるドレイン-ゲート接続層41a、41bと、がSRAM部のフリップフロップ用の導電層となる。ロジック回路部は、ドレイン-ドレイン接続層31a、31bと同じレベルの位置に、配線層を有さない。

請求項（抜粋）：

第1駆動トランジスタ、第2駆動トランジスタ、第1負荷トランジスタ、第2負荷トランジスタ、第1転送トランジスタおよび第2転送トランジスタを含むメモリセル部と、他の半導体回路部と、が同一の半導体基板に形成されている半導体装置であって、前記メモリセル部の一メモリセルは、第1ゲート電極層、第2ゲート電極層、第1ドレイン-ドレイン接続層、第2ドレイン-ドレイン接続層、第1ドレイン-ゲート接続層および第2ドレイン-ゲート接続層を備え、前記第1ゲート電極層は、前記第1駆動トランジスタのゲート電極と前記第1負荷トランジスタのゲート電極とを含み、前記第2ゲート電極層は、前記第2駆動トランジスタのゲート電極と前記第2負荷トランジスタのゲート電極とを含み、前記第1ドレイン-ドレイン接続層および前記第2ドレイン-ドレイン接続層は、前記第1ゲート電極層および前記第2ゲート電極層より上に位置し、平面的には、前記第1ドレイン-ドレイン接続層と前記第2ドレイン-ドレイン接続層との間に、前記第1ゲート電極層および前記第2ゲート電極層が位置し、前記第1ドレイン-ドレイン接続層は、前記第1駆動トランジスタのドレイン領域と前記第1負荷トランジスタのドレイン領域との接続に用いられ、前記第2ドレイン-ドレイン接続層は、前記第2駆動トランジスタのドレイン領域と前記第2負荷トランジスタのドレイン領域との接続に用いられ、前記第1ドレイン-ゲート接続層および前記第2ドレイン-ゲート接続層は、前記第1ドレイン-ドレイン接続層および前記第2ドレイン-ドレイン接続層より上に位置し、前記第1ドレイン-ゲート接続層は、前記第1ドレイン-ドレイン接続層と前記第2ゲート電極層との接続に用いられ、前記第2ドレイン-ゲート接続層は、前記第2ドレイン-ドレイン接続層と前記第1ゲート電極層との接続に用いられ、前記他の半導体回路部は、前記第1ドレイン-ドレイン接続層および前記第2ドレイン-ドレイン接続層と同じレベルの位置に、配線層を有さない、半導体装置。

IPC (9件)：

H01L 21/8244 ,  H01L 27/11 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8234 ,  H01L 27/088 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/10 461

FI (7件)：

H01L 27/10 461 ,  H01L 27/10 381 ,  H01L 21/88 Z ,  H01L 21/90 C ,  H01L 21/90 A ,  H01L 27/08 102 D ,  H01L 27/08 321 K

Fターム (68件)：

5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH18 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK04 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK11 ,  5F033KK12 ,  5F033KK18 ,  5F033KK25 ,  5F033KK33 ,  5F033MM05 ,  5F033MM07 ,  5F033MM08 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN32 ,  5F033NN38 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ30 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR04 ,  5F033UU04 ,  5F033VV16 ,  5F033WW00 ,  5F033WW02 ,  5F033XX00 ,  5F033XX01 ,  5F033XX03 ,  5F033XX27 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AB10 ,  5F048AC03 ,  5F048BE03 ,  5F048BF07 ,  5F048BF12 ,  5F048BG14 ,  5F083BS01 ,  5F083BS13 ,  5F083BS27 ,  5F083BS47 ,  5F083BS48 ,  5F083GA09 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083MA03 ,  5F083MA04 ,  5F083MA05 ,  5F083MA06 ,  5F083NA01 ,  5F083PR43 ,  5F083PR44 ,  5F083PR45 ,  5F083PR46 ,  5F083PR53 ,  5F083PR54 ,  5F083PR55 ,  5F083PR56 ,  5F083ZA01 ,  5F083ZA12