特許
J-GLOBAL ID：200903008169259174
厚み計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-106478
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273912
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】上下センサの光スポットを離すという手段を用いる場合においても、正確な計測を行えるような厚み計測装置を提供することにある。【解決手段】物体の移送経路に対向して設けられた第1の光学式変位計と第2の光学式変位計、および、演算手段と、を有する厚み計測装置である。第1の光学式変位計は物体の表面に第1の光スポットを当てて表面の変位を計測し、第2の光学式変位計は物体の裏面の、第1の光スポットの近傍の位置に、第2の光スポットを当てて裏面の変位を計測し、演算手段は、第1の光学式変位計が時系列で出力する複数の第1の変位値と、第2の光学式変位計が時系列で出力する複数の第2の変位値とに基づいて、物体の表裏面の対応する位置の第1の変位値と第2の変位値とを選択し、物体の厚み計測値を演算する。
請求項（抜粋）：
第1の光学式変位計と、第2の光学式変位計と、演算手段と、を有する厚み計測装置であって、前記第1の光学式変位計は物体の移送経路に設けられ、前記物体の第1の表面に第1の光スポットを当てて前記第1の表面の変位を計測し、前記第2の光学式変位計は前記物体を挟んで前記第1の光学式変位計に対向する位置に設けられ、前記物体の第1の表面の裏面に当たる第2の表面の、前記第1の光スポットの位置の近傍の位置に、第2の光スポットを当てて前記第2の表面の変位を計測し、前記演算手段は、前記第1の光学式変位計が時系列で出力する複数の第1の変位値と、前記第2の光学式変位計が時系列で出力する複数の第2の変位値とに基づいて、前記物体の表裏面の対応する位置の第1の変位値と第2の変位値とを選択し、前記物体の厚み計測値を演算する、ことを特徴とする厚み計測装置。
引用特許：
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