特許

J-GLOBAL ID：200903008177100079

第1及び第2位置合せマークの相対位置を計測する方法及び装置

発明者： レネ モンショウヴェル
出願人/特許権者： エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ
代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  岩本 行夫 ,  吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-319203
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142563
出願日： 2004年11月02日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】基板(W)上の第1及び第2位置合せマーク(10、11)の相対位置を測定する方法を提供すること。【解決手段】第1の位置合せマーク(10)は、第1の周期性(PE1)を有する第1の部分、及び第2の周期性(PE2)を有する隣接する第2の部分を含む周期構造を備える。第2の位置合せマーク(11)は、第2の周期性(PE2)を有する第1の部分、及び第1の周期性(FE1)を有する隣接する第2の部分を含む周期構造を備える。第1及び第2の位置合せマーク(10、11)を、第1の部分が実質的に一方が他方の上方に位置し、かつ第2の部分が実質的に一方が他方の上方に位置するように配設する。さらに、方法は、位置合せマークからモアレ縞を発生させ、第1及び第2の位置合せマーク(10、11)の相対位置をモアレ縞の周期性に基づいて決定するステップを含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板(W)上の第1及び第2の位置合せマーク(10、11)の相対位置を前記基板表面(W)に実質的に沿う第1の方向に測定する方法であって、 前記第1の位置合せマーク(10)は、実質的に前記第1の方向に、第1の周期性(PE1)を有する第1の部分(portion)、及び第2の周期性(PE2)を有する隣接する第2の部分を含む周期構造を備え、 前記第2の位置合せマーク(11)は、実質的に前記第1の方向に、前記第2の周期性(PE2)を有する追加の第1の部分、及び前記第1の周期性(PE1)を有する隣接する追加の第2の部分を含む周期構造を備え、 前記第1及び第2の位置合せマーク(10、11)は、前記第1の部分及び前記追加の第1部分が実質的に一方が他方の上方に位置し、かつ前記第2の部分及び前記追加の第2の部分は実質的に一方が他方の上方に位置するように配設され、 前記方法は、 位置合せビーム(AB)を前記第1及び第2の位置合せマーク(10、11)へ指し向けるステップと、 前記第1及び第2の位置合せマーク(10、11)によって生じたモアレ縞を測定するステップと、 前記の測定したモアレ縞に基づいて、第1及び第2の位置合せマーク(10、11)の相対位置を実質的に前記第1の方向に決定するステップとを含む方法。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00

FI (4件)：

H01L21/30 522D ,  G01B11/00 A ,  G03F9/00 H ,  H01L21/30 523

Fターム (16件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065HH04 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ18 ,  2F065QQ29 ,  5F046BA03 ,  5F046EA07 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01