特許
J-GLOBAL ID：200903008180638160
圧電型振動センサとその製法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-177329
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043430
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 圧電体の量の少ない圧電型振動センサを提供する。【構成】 ダイアフラム振動板と、このダイアフラム振動板の振動を検知する検知部とを有する。この検知部は、ダイアフラムの一方の面の中心を交点として直交する軸をx軸、y軸としたとき、交点を挟んでx軸上に配される一対の帯状のx軸検知部と、交点を挾んでy軸上に配される一対の帯状のy軸検知部と、交点を挟んで点対称な位置に配される一対の帯状のz軸検知部とを有する。これらx軸、y軸、z軸検知部は、帯状の圧電体と、この圧電体の一方の面全体に配される共通電極と、圧電体の他方の面に、該圧電体の長手方向に沿って配設される一対の検知電極とを有する。これら検知電極のそれぞれと共通電極との間に生じる電荷量または電位差から振動を検出する。
請求項（抜粋）：
ダイアフラム振動板と、このダイアフラム振動板の一方の面に配置され、このダイアフラム振動板の振動を検知する検知部とを有する圧電型振動センサにおいて、前記検知部は、前記ダイアフラムの一方の面の中心を交点として直交する軸をx軸、y軸としたとき、前記交点を挟んでx軸上に配される一対の帯状のx軸検知部と、前記交点を挾んでy軸上に配される一対の帯状のy軸検知部と、前記交点を挟んで点対称な位置に配される一対の帯状のz軸検知部とを有し、これらx軸、y軸、z軸検知部は、帯状の圧電体と、この圧電体の一方の面のほぼ全体にわたって配される共通電極と、前記圧電体の他方の面に、該圧電体の長手方向に沿って配設される一対の検知電極とを有し、これら検知電極のそれぞれと共通電極との間に生じる電荷量または電位差から振動を検出することを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (2件)：
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