特許

J-GLOBAL ID：200903008181649212

ステージ装置及び露光装置

発明者： 李 世文
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294890
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118773
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 ステージの移動に伴う装置の重心移動や変形による振動を低減する。【解決手段】 第1ステージWST1及び第2ステージWST2の少なくとも1つの移動によって引き起こされるステージ装置40の重心の移動及び反力を、移動部材DMX1,DMX2,DMY1,DMY2が移動することによって相殺される。そして、移動部材DMX1,DMX2,DMY1,DMY2の移動によって相殺しきれなかったステージ装置40の重心の移動及び反力が、ベース42が移動することによって完全に相殺される。すなわち、第1ステージWST1及び第2ステージWST2の少なくとも1つが移動しても、ステージ装置40の重心は移動せず、また、反力も確実にキャンセルされる。

請求項（抜粋）：

ベースに移動可能に支持された第1ステージ及び第2ステージを備えるステージ装置において、前記ベースに移動可能に支持され、前記第1ステージ及び前記第2ステージの少なくとも1つの移動に伴う前記ステージ装置の重心の移動を相殺するように移動する移動部材を備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (5件)：

5F046AA23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16