特許
J-GLOBAL ID：200903008183057045
ダイヤモンドの合成法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065868
公開番号（公開出願番号）：特開平7-277890
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：
【要約】高品質で、合成速度の早いダイヤモンドの気相合成法を提供することにある。【構成】 原料ガスとして炭素、窒素、水素、またはこれらに酸素または硼素含有ガスを用い、窒素と水素の原子数の比率が3ppm以上、1000ppm以下または酸素と炭素の原子数の比率が3%以上100%以下であることを特徴とするダイヤモンドの気相合成法。【効果】 原料ガスとして、窒素を微量添加することによってダイヤモンドの品質が高く、かつダイヤモンドの合成速度を高めるダイヤモンドの気相合成が可能である。
請求項（抜粋）：
少なくとも炭素(C)、水素(H)、窒素(N)を含む導入ガスを用いて、ダイヤモンドの単結晶を気相からエピタキシャル成長させるダイヤモンドの合成法であって、ガス内の[N]/[H]が3ppm以上1000ppm以下であることを特徴とするダイヤモンドの合成法。
IPC (2件)：
引用特許：
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