特許
J-GLOBAL ID：200903008186903508
XY駆動試料台
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-082463
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281110
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 分析装置におけるXY駆動可能な試料台を薄型、小型化する。【構成】 1つの平面上に、直線状で且つ、長手方向に対して直角断面形状が均一な溝105が設けられている固定板101と、前記固定板101の上にXY方向に移動可能に載置され、前記固定板101に対面する平面に前記固定板101の溝105と直角方向に直線状で且つ、長手方向に対して直角断面形状が均一な溝105が設けられている移動板102と、前記固定板101と前記移動板102の各溝105に係合する十字形状の案内棒106よりなることを特徴とするXY駆動試料台である。
請求項（抜粋）：
1つの平面上に、直線状で且つ、長手方向に対して直角断面形状が均一な溝が設けられている固定板と、前記固定板の上にXY方向に移動可能に載置され、前記固定板に対面する平面に前記固定板の溝と直角方向に直線状で且つ、長手方向に対して直角断面形状が均一な溝が設けられている移動板と、前記固定板と前記移動板の各溝に係合する案内棒よりなることを特徴とするXY駆動試料台。
IPC (2件)：
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