特許

J-GLOBAL ID：200903008188660955

薄膜磁気テープ用蒸着装置

発明者： 瀬川 勝
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-045839
公開番号（公開出願番号）：特開2001-236641
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 ベースフィルム上に金属磁性薄膜を成膜する時に、製品歩留まりと蒸着材料利用効率を向上させる。【解決手段】 真空槽2内で帯状のベースフィルム8を冷却キャンロール7の周面に沿って走行させ、且つ、冷却キャンロール7の下方でベースフィルム8の幅方向に沿って設置したルツボ9B内で溶融させた金属磁性材料10を該ルツボ9Bの開口部から蒸発させて、ベースフィルム8の一方の面に金属磁性薄膜を成膜する薄膜磁気テープ用蒸着装置1Bにおいて、ルツボ9Bの開口部は、ベースフィルム9の幅方向の略中央部と対応する長さ方向の略中央部を幅狭く形成し、且つ、長さ方向の略中央部から両端部に向かって徐々に幅広く形成したことを特徴とする薄膜磁気テープ用蒸着装置1Bを提供する。

請求項（抜粋）：

真空槽内で帯状のベースフィルムを冷却キャンロールの周面に沿って走行させ、且つ、前記冷却キャンロールの下方で前記ベースフィルムの幅方向に沿って設置したルツボ内で溶融させた金属磁性材料を該ルツボの開口部から蒸発させて、前記ベースフィルムの一方の面に金属磁性薄膜を成膜する薄膜磁気テープ用蒸着装置において、前記ルツボの開口部は、前記ベースフィルムの幅方向の略中央部と対応する長さ方向の略中央部を幅狭く形成し、且つ、前記長さ方向の略中央部から両端部に向かって徐々に幅広く形成したことを特徴とする薄膜磁気テープ用蒸着装置。

IPC (2件)：

G11B 5/85 ,  C23C 14/24

FI (2件)：

G11B 5/85 A ,  C23C 14/24 A

Fターム (14件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA43 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA02 ,  4K029CA15 ,  4K029DB03 ,  4K029DB12 ,  4K029JA10 ,  5D112AA05 ,  5D112AA22 ,  5D112FA02 ,  5D112FB23