特許

J-GLOBAL ID：200903008194227333

合成石英ガラスおよびその製造方法

発明者： 生田 順亮 ,  菊川 信也 ,  下平 憲昭 ,  増井 暁夫 ,  吉沢 修平
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-307783
公開番号（公開出願番号）：特開2001-019450
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】E’センタおよび蛍光発光が低減された合成石英ガラスの提供。【解決手段】フッ素を含有し、レーザラマンスペクトルにおける800cm-1の散乱ピーク強度I800 に対する2250cm-1の散乱ピーク強度I2250の値(I2250/I800 )が1×10-4以下であり、かつ245nmの光の吸収係数が2×10-3cm-1以下である合成石英ガラス。

請求項（抜粋）：

紫外域から真空紫外域の光を照射して使用される光学用合成石英ガラスにおいて、フッ素を含有し、レーザラマンスペクトルにおける800cm-1の散乱ピーク強度I800 に対する2250cm-1の散乱ピーク強度I2250の比(I2250/I800 )が1×10-4以下であり、かつ245nmの光の吸収係数が2×10-3cm-1以下である合成石英ガラス。

IPC (5件)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/04 ,  C03C 3/06 ,  H01S 3/17 ,  H01S 3/30

FI (6件)：

C03B 20/00 F ,  C03B 20/00 G ,  C03B 8/04 R ,  C03C 3/06 ,  H01S 3/17 ,  H01S 3/30

Fターム (60件)：

4G014AH15 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062DA01 ,  4G062DA10 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE02 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ06 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM02 ,  5F072AA04 ,  5F072AA06 ,  5F072FF07 ,  5F072FF08 ,  5F072JJ03 ,  5F072RR05 ,  5F072YY08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 真空紫外用石英ガラスの製造方法 および石英ガラス光学部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-170984   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置、半導体装置およびフォトマスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-082067   出願人：株式会社半導体先端テクノロジーズ, 旭硝子株式会社
• 透明石英ガラスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-042252   出願人：旭硝子株式会社
• 紫外光用光学ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-202126   出願人：住友電気工業株式会社