合成石英ガラスおよびその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-307783
公開番号（公開出願番号）：特開2001-019450
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】E’センタおよび蛍光発光が低減された合成石英ガラスの提供。【解決手段】フッ素を含有し、レーザラマンスペクトルにおける800cm-1の散乱ピーク強度I800 に対する2250cm-1の散乱ピーク強度I2250の値(I2250/I800 )が1×10-4以下であり、かつ245nmの光の吸収係数が2×10-3cm-1以下である合成石英ガラス。

請求項（抜粋）：

紫外域から真空紫外域の光を照射して使用される光学用合成石英ガラスにおいて、フッ素を含有し、レーザラマンスペクトルにおける800cm-1の散乱ピーク強度I800 に対する2250cm-1の散乱ピーク強度I2250の比(I2250/I800 )が1×10-4以下であり、かつ245nmの光の吸収係数が2×10-3cm-1以下である合成石英ガラス。

IPC (5件)：

C03B 20/00 , C03B 8/04 , C03C 3/06 , H01S 3/17 , H01S 3/30

FI (6件)：

C03B 20/00 F , C03B 20/00 G , C03B 8/04 R , C03C 3/06 , H01S 3/17 , H01S 3/30

Fターム (60件)：

4G014AH15 , 4G062AA04 , 4G062BB02 , 4G062DA01 , 4G062DA10 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE02 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ05 , 4G062JJ06 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 5F072AA04 , 5F072AA06 , 5F072FF07 , 5F072FF08 , 5F072JJ03 , 5F072RR05 , 5F072YY08

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