特許

J-GLOBAL ID：200903008195457375

研磨装置の研磨ヘッドの構造

発明者： 沼本 実
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-024082
公開番号（公開出願番号）：特開2001-212754
出願日： 2000年02月01日
公開日（公表日）： 2001年08月07日
要約：

【要約】【課題】 研磨時にウェハが研磨ヘッドから飛び出すことがなく、かつキャリア面精度やパッキング材の厚さムラ及び押し付け面等のゴミの影響を受けずに高精度の平坦加工を行えるウェハ研磨装置の研磨ヘッドを提供する。【解決手段】 本発明の研磨ヘッドの構造は、キャリア20の下面にエア吹出口を設けると共に、キャリアの上方外周縁部24を径方向に突出して形成し、リテーナリング30にこの上方外周縁部を載置することでシール部25を形成している。またリテーナリングはキャリアを覆うような形でゴムシート60の周縁を挟持している。これにより、キャリア下面とゴムシートとの間にエア室61が形成され、このエア室圧力でウェハWを研磨布2に押し付けている。

請求項（抜粋）：

研磨ヘッドで被加工物を研磨定盤上の研磨布に押し付けながら相対運動させる研磨装置の研磨ヘッドにおいて、前記研磨ヘッドが、回転すると共に前記研磨定盤に対向配置されるヘッド本体と、前記ヘッド本体に上下方向移動自在に遊嵌支持されたキャリアと、前記ヘッド本体に上下方向移動自在に遊嵌支持され、研磨時に被加工物の周囲を包囲して前記研磨布に接触するリテーナリングと、前記リテーナリングの内部を覆うように前記リテーナリングで周縁を保持された弾性シートと、を備えていて、前記キャリアの径方向に突出した外周縁部を、前記リテーナリング上に載置することによってエアのシール部を形成すると共に、前記キャリアの下面に設けられたエア吹出口からのエアによって、前記弾性シートが膨れて研磨時に被加工物を前記研磨布に押圧することを特徴とする研磨装置の研磨ヘッドの構造。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (6件)：

3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB06 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17