特許

J-GLOBAL ID：200903008206953760

フイルタ

発明者： 藤江 信夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-310385
公開番号（公開出願番号）：特開平5-146622
出願日： 1991年11月26日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 クリーンルームの建設に使用されるフィルタに関し、特にガス状の化学物質を発生するクリーンルームの建設を容易ならしめるフィルタの提供を目的とする。【構成】 細い繊維がシート状に圧縮されて気体中の浮遊微粒子を捕捉する通気性の濾材を管状で両端開口のフレーム内に装着して構成したフィルタにおいて、濾材がフレーム21内の一方の端部に装着された第1の濾材22a と他方の端部に装着された第2の濾材22b とで構成されるとともに、気体中にガス状で存在する化学物質を吸着する吸着材23が第1の濾材22aと第2の濾材22b との間に充填してフィルタを構成する。

請求項（抜粋）：

細い繊維がシート状に圧縮されて気体中の浮遊微粒子を捕捉する通気性の濾材(22)を管状で両端開口のフレーム(21)内に装着して構成したフィルタにおいて、濾材(22)がフレーム(21)内の一方の端部に装着された第1の濾材(22a) と他方の端部に装着された第2の濾材(22b) とで構成されるとともに、前記気体中にガス状で存在する化学物質を吸着する吸着材(23)が第1の濾材(22a) と第2の濾材(22b) との間に充填されていることを特徴とするフィルタ。

IPC (3件)：

B01D 46/52 ,  B01D 53/04 ,  B01D 53/34