特許
J-GLOBAL ID：200903008215463202
電子線描画装置および電子線描画装置のセトリングタイム測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-046905
公開番号（公開出願番号）：特開2004-259812
出願日： 2003年02月25日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：
【課題】本発明によって高速偏向制御回路のセトリングタイムを信頼性高くかつ簡便に測定することができる。【解決手段】高速偏向制御回路の二出力を利用し、一方に偏向データを入力、もう一方に前者と逆方向の偏向データを入力して、お互いの出力同士間に結合された測定抵抗の中点の電圧変化を測定しつつ、更に互いの相関が見えるように、一方または両方の偏向データのDA変換開始タイミングを可変して測定することでセトリングタイムを信頼性高くかつ簡便に測定する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
電子線描画装置の高速偏向制御回路は、少なくとも二つの偏向系統回路を有し、これらの偏向系統回路の出力側を測定抵抗で結ぶように接続し、一方の偏向系統回路に測定用の偏向データを入力し、他方の偏向系統回路にも前記偏向データと逆方向位相になる測定用の偏向データを入力し、これらの偏向データに基づく前記測定抵抗の中点(中間点)の電圧変化を測定する電子線描画装置のセトリングタイム測定方法において、
前記一方の偏向データと、前記他方の偏向データとが入力される入力タイミングに時差をもたせたことを特徴とする電子線描画装置のセトリングタイム測定方法。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, H01J37/147
, H01J37/305
H01L21/30 541U
, G03F7/20 504
, H01J37/147 C
, H01J37/305 B
2H097AA03
, 2H097CA16
, 2H097LA10
, 5C033GG03
, 5C034BB04
, 5F056BA10
, 5F056BB10
, 5F056CB12
, 5F056EA06
