特許

J-GLOBAL ID：200903008218450144

集積化ガスパネル用フィルターユニット

発明者： 木村 美良
出願人/特許権者： 株式会社ベンカン
代理人 (1件)： 三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276828
公開番号（公開出願番号）：特開平10-099623
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 フィルターユニットの本体の脱着を、ガスラインを分解することなく簡単にでき、またフィルターユニットの本体の結合部の緊密なシール性を確保できて、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にでき、その上コンパクトにできてガスラインでの省スペース化を図ることのできる集積化ガスパネル用フィルターユニットを提供する。【解決手段】 半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットであって、その本体2を縦型となして円筒状のフィルターメディア3と円筒状のハウジング6を同心に立設固設すると共にフィルターメディア3の内外と連通するガス通路7、8を備えたボディ4の外周に外ねじナット10を装着し、この外ねじナット10にて本体2のボディ4を流路ブロック11にねじ結合して構成した。

請求項（抜粋）：

半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットであって、該フィルターユニットの本体は、縦型になされ、下端のみ開口の円筒状のフィルターメディアがボディの上面中央部に立設固定され、フィルターメディアの外側に同心に円筒状のハウジングがボディの上面外周部に立設固定され、フィルターメディアの内外と夫々連通するガス通路がボディに設けられ、ボディの外周に外ねじナットが装着されて成り、前記外ねじナットにて前記構成のフィルターユニットの本体が流路ブロックにねじ結合されていることを特徴とする集積化ガスパネル用フィルターユニット。

IPC (2件)：

B01D 46/00 ,  F16J 15/06

FI (2件)：

B01D 46/00 Z ,  F16J 15/06 N

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平4-349912
  
• 金属フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-348397   出願人：株式会社キッツ