特許
J-GLOBAL ID：200903008221379388
一体型の多目的光学アラインメントのためのシステムおよび方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-522763
公開番号（公開出願番号）：特表2007-501527
出願日： 2004年08月05日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】一体型の多目的光学アラインメントのためのシステムおよび方法【解決手段】半導体処理システムで使用される光学アラインメントシステムが提供される。この光学アラインメントシステムは、アラインメント用の特徴部を上面に一体形成されたウエハチャックを備える。また、ウエハチャックの上方には、アラインメント用の特徴部に向けて光信号を発することができるビーム形成システムが配置される。また、アラインメント用の特徴部に向けて発せられた光信号の振幅を検出することができる検出器も設けられる。一形態において、アラインメント用の特徴部は、光信号の一部をビーム形成システムに反射し返す反射性アラインメント用の特徴部であって良い。別の一形態において、アラインメント用の特徴部は、光信号の一部がウエハチャックを通過して検出器に到達することを可能にする透過性アラインメント用の特徴部であって良い。この形態では、ウエハチャックの下方に検出器を配置することができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
半導体処理システムで使用される光学アラインメントシステムであって、
アラインメント用の特徴部を上面に一体形成されたウエハチャックと、
前記ウエハチャックの上方に配置され、前記アラインメント用の特徴部に向けて光信号を発することができるビーム形成システムと、
前記アラインメント用の特徴部に向けて発せられた光信号の振幅を検出することができる検出器と
を備える光学アラインメントシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 F
, H01L21/302 101G
5F004AA16
, 5F004BB18
, 5F004BB32
, 5F004BC06
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031JA05
, 5F031JA06
, 5F031JA38
, 5F031JA50
, 5F031PA30
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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