エリプソパラメータ測定方法及びエリプソメータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263690
公開番号（公開出願番号）：特開平5-113371
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】エリプソメータに含まれる可動光学部材を除去して、測定速度を上昇するとともに、エリプソパラメータの位相差Δがどの象限に所属するかも1回の測定で判定可能とする。【構成】光源部から測定対象に入射されて、この測定対象にて反射された楕円偏光を有する反射光を互いに異なる4つの偏光成分に分離して各偏光成分の光強度を検出し、検出された4つの光強度からエリプソパラメータψ,Δを算出している。また、波長板を用いて前記4つ異なる偏光成分を得ている。さらに、必要に応じて、4つの光強度を得る各偏光成分の偏光方向をそれぞれ基準方向に対して-45°,+45°,90°,0°に設定している。また、4つの偏光成分を取出すために複合ビームスプリッタを用いている。

請求項（抜粋）：

測定対象に対して偏光した光を所定角度で入射させ、この測定対象の反射光をそれぞれ互いに異なる4つの偏光成分に分離し、この分離された4つの偏光成分の光強度からエリプソパラメータを求めることを特徴とするエリプソパラメータ測定方法。

IPC (3件)：

G01J 4/04 , G01B 11/06 , G01N 21/21

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-160331
特開昭62-293104
特開昭62-251629

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