特許

J-GLOBAL ID：200903008227160060

ガリウム含有窒化物の単結晶の製造法及び装置

発明者： ロベルト・トマシュ・ドヴィリニスキ ,  ロマン・マレク・ドラジニスキ ,  レシェック・ピョートル・シェシュプトフスキ ,  イエジ・ガルチニスキ ,  神原 康雄
出願人/特許権者： アンモノ・スプウカ・ジ・オグラニチョノン・オドポヴィエドニアウノシツィオン ,  日亜化学工業株式会社
代理人 (4件)： 鮫島 睦 ,  田村 恭生 ,  言上 惠一 ,  山尾 憲人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-059744
公開番号（公開出願番号）：特開2008-208024
出願日： 2008年03月10日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：

【課題】ガリウム含有窒化物結晶の単結晶、その製造方法及び装置を提供する。【解決手段】ガリウム含有窒化物結晶を製造するアンモノ塩基性方法において、オートクレーブ1内の溶解領域13を低温領域としてフィードストック16を配置し、結晶化領域14を高温領域として種結晶17を配置する。これにより、ガリウム含有窒化物を超臨界窒素含有溶媒中にアルカリ金属含有成分の存在下に少なくとも1つの種結晶17上に結晶させる。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

(i)ガリウム含有フィードストックと、アルカリ金属含有成分と、少なくとも1つのシードと、窒素含有溶媒とを少なくとも1つの容器に供給する工程と、 (ii)上記窒素含有溶媒を超臨界状態にする工程と、 (iii)上記ガリウム含有フィードストックの少なくとも一部を第1温度と第1圧力で溶解させる工程と、 (iv)上記窒素含有溶媒を超臨界状態にしたまま、第2温度と第2圧力にして上記シード上にガリウム含有窒化物を結晶化させる工程と、 を備えたガリウム含有窒化物結晶の形成方法であって、 (a)上記第2温度が上記第1温度よりも高い、又は(b)上記第2圧力が上記第1圧力よりも低い、条件の少なくとも一方を充たすことを特徴とするガリウム含有窒化物結晶の形成方法。

IPC (2件)：

C30B 29/38 ,  C30B 7/10

FI (2件)：

C30B29/38 D ,  C30B7/10

Fターム (21件)：

4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077AB02 ,  4G077AB08 ,  4G077AB09 ,  4G077BE11 ,  4G077BE15 ,  4G077CB04 ,  4G077EA02 ,  4G077EA04 ,  4G077EB01 ,  4G077EC07 ,  4G077EG18 ,  4G077EG25 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077KA01 ,  4G077KA03 ,  4G077KA09 ,  4G077KA11