特許
J-GLOBAL ID:200903008227820132

抵抗体ペーストおよびこれを用いた圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-080488
公開番号(公開出願番号):特開平6-294692
出願日: 1993年04月07日
公開日(公表日): 1994年10月21日
要約:
【要約】【目的】 圧力変化により電気抵抗が変化する抵抗体を用いた圧力センサにおいて、TCR特性およびセンサ感度に優れた抵抗体ペーストを用いることにより、高品質な圧力センサを提供することを目的とする。【構成】 金属基体1と、前記金属基体1の表面に形成された絶縁層2と、前記絶縁層2の表面に形成され変形に伴って電気抵抗が変化する抵抗体3と、前記抵抗体3の抵抗変化を検出する電極4からなる圧力センサにおいて、抵抗体3を酸化ルテニウムと鉄化合物とガラスフリットと有機ビヒクルおよび希釈剤から構成される抵抗体ペーストを焼成処理により形成したものである。
請求項(抜粋):
導電性物質または焼成することにより導電性物質となる材料と、ガラスフリットと、有機ビヒクルおよび希釈剤と、鉄化合物とから構成した抵抗体ペースト。
IPC (2件):
G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84

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