電子-光学変調器とその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三俣弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-166997
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004966
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】光学場と電界が最大となるような、光学場のプロファイルにより多くマッチした電界のプロファイルを有する、リチウムナイオバイト製の電子-光学変調器を提供する。【解決手段】本発明のリチウムナイオバイト製基板は、リッジ変調器構造におけるリッジの形状を整えて、電界のプロファイルを成形することにより得られる。この成形は、凹角の側壁を具備する導波路用のリッジを作り出すことである。この手段により、電界プロファイルの最大値がリッジの表面の真下で、光学場の最大値の近い位置で得られる。これらのプロファイルの最大値をマッチングさせることにより、デバイス内のRF場と光学場のオーバーラップが高められ、これにより必要な駆動電圧を低減させることができる。

請求項（抜粋）：

(A)主表面と隆起した表面部分を有する電子-光学基板と、前記隆起した表面部分は、前記主表面の少なくとも一部に沿ってのびる、電子-光学材料のリッジを含み、前記リッジは、リッジ表面とリッジ側壁とを有し、(B)前記基板内に形成され、前記リッジ内にその一部が形成された光学導波路と、(C)前記リッジ表面上に形成された、第1電極と、(D)前記主表面部分に形成された、第2電極と、(E)前記第1電極と第2電極との間、電圧を印加する手段と、を有する電子-光学変調器において、前記側壁の少なくとも一部は、凹角の角度をなすことを特徴とする電子-光学変調器。

引用特許：

審査官引用 (1件)

導波路型光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-009116 出願人：株式会社日立製作所

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