バンプ形成用シート及びバンプ形成用シートの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-001616
公開番号（公開出願番号）：特開平6-209004
出願日： 1993年01月08日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：

【要約】【目的】チップのパッドに小形のバンプを低コストで簡単に形成できる装置を提供する。【構成】弾性を有するシート14に導電子15が多数個打ち抜き自在に埋設して、バンプ形成用シートとした。このバンプ形成用シート14を水平な姿勢で保持し、シート14の下方にチップ6を位置させ、またシート14の上方にホーン25に保持された押圧子26を配置し、押圧子26を下降させてその下端部により導電子15をチップ6のパッド7に押し付けてボンディングすれば、小形のバンプ15をパッド7上に簡単に形成でき、しかもワイヤボンディング装置と同様の装置によりバンプ15を形成できるので設備費が安価であり、低コストでバンプ15を形成できる。

請求項（抜粋）：