特許

J-GLOBAL ID：200903008257777568

X線検査装置

発明者： 冨岡 祥郎
出願人/特許権者： 株式会社日鉄エレックス
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101474
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292165
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 物体内部の微小欠陥の存在などの内部状態を精度よく検査することができるX線検査装置を提供する。【構成】 X線を照射するX線照射機構と、前記X線照射機構によって照射されたX線の進路を内部に有するとともに該進路を外れたX線の進行を遮断し、かつ前記進路の中に検査対象物体が配置されるX線進路制御機構と、前記X線進路制御機構を通過したX線を光に変換する光変換機構と、前記光変換機構によって変換された光の進路を制御する光進路制御機構と、前記光進路制御機構を通過した光を検知する光検知機構と、前記光検知機構に接続されており、前記光検知機構の検知結果を処理および出力する処理出力機構とからなるX線検査装置。

請求項（抜粋）：

X線を照射するX線照射機構と、前記X線照射機構によって照射されたX線の進路を内部に有するとともに該進路を外れたX線の進行を遮断し、かつ前記進路の中に検査対象物体が配置されるX線進路制御機構と、前記進路の出口近傍に配設され、前記X線進路制御機構を通過したX線を光に変換する光変換機構と、前記光変換機構の、X線が照射される側と反対側に接続されており、前記光変換機構によって変換された光の進路を制御する光進路制御機構と、前記光進路制御機構の前記光変換機構に接続された端部とは反対側の端部に接続されており、前記光進路制御機構を通過した光を検知する光検知機構と、前記光検知機構に接続されており、前記光検知機構の検知結果を処理および出力する処理出力機構とからなるX線検査装置であって、前記X線進路制御機構のX線の進路と前記光進路制御機構の光の進路との方向が異なることを特徴とするX線検査装置。