過酸化水素水の精製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-062908
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259009
出願日： 1997年03月17日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】不純物であるアニオン成分及び金属成分の濃度が極めて低く、よって半導体の製造プロセスに最適に使用し得る高純度の過酸化水素水を得ることができる過酸化水素水の精製方法に存する。【解決手段】不純物としてアニオン成分及び/又は金属成分を含む粗過酸化水素水からアニオン成分及び/又は金属成分を除去する過酸化水素水の精製方法であって、下記第一工程及び第二工程を含み、第二工程における過酸化水素水の樹脂塔への通液空間速度が第一工程における過酸化水素水の樹脂塔への通液空間速度より大きい過酸化水素水の精製方法。第一工程:粗過酸化水素水を、アニオン交換樹脂塔及びカチオン交換樹脂塔又はアニオン交換樹脂塔及びキレート樹脂塔を通過させる工程第二工程:第一工程で得た過酸化水素水を、アニオン交換樹脂塔及びカチオン交換樹脂塔を通過させる工程

請求項（抜粋）：

不純物としてアニオン成分及び/又は金属成分を含む粗過酸化水素水からアニオン成分及び/又は金属成分を除去する過酸化水素水の精製方法であって、下記第一工程及び第二工程を含み、第二工程における過酸化水素水の樹脂塔への通液空間速度が第一工程における過酸化水素水の樹脂塔への通液空間速度より大きい過酸化水素水の精製方法。第一工程:粗過酸化水素水を、アニオン交換樹脂塔及びカチオン交換樹脂塔又はアニオン交換樹脂塔及びキレート樹脂塔を通過させる工程第二工程:第一工程で得た過酸化水素水を、アニオン交換樹脂塔及びカチオン交換樹脂塔を通過させる工程

IPC (4件)：

C01B 15/013 , B01J 39/04 , B01J 41/04 , B01J 45/00

FI (4件)：

C01B 15/013 , B01J 39/04 H , B01J 41/04 H , B01J 45/00 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

過酸化水素水の精製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-150307 出願人：三菱瓦斯化学株式会社
特開平1-153509

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