マルチビーム露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201645
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048550
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】この発明は、複数のビームを走査するマルチビーム露光装置を改良するものである。【解決手段】この発明のマルチビーム露光装置1は、ΣNi本の光をM本の光線群に合成するΣ (Ni-1) 個のハーフミラー11と、副走査方向に、さらに収束させるための副走査方向に主走査方向に比較して絶対値の大きな正のパワーが与えられたM組の有限レンズ8と、M本の光線群を第1の方向にほぼ重なる様に反射させる合成用反射ミラー13と、合成されたM本の光線群を偏向する偏向装置5と、偏向装置の前段に、ハーフミラーが傾けられる方向と逆の方向に傾けられた防塵ガラス14を含み、ハーフミラーによりM本の光線群に与えられるコマ収差の影響を低減できる。

請求項（抜粋）：