特許
J-GLOBAL ID：200903008261212982
微小変位素子、該微少変位素子を複数個備えた集積化アクチュエータ、該集積化アクチュエータを備えた走査型トンネル顕微鏡、および前記集積化アクチュエータを備えた情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-299781
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147819
出願日： 1992年11月10日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 外部からの振動に強く、かつ耐久性に優れるとともに、正確な微小変位を発生させる。【構成】 単結晶シリコンからなる基板1の表面には、8個の微小変位体6が同一円周上に位置するように配置される。各微小変位体6はそれぞれ、分極方向4が基板1の表面に対して垂直方向に配向された酸化亜鉛からなる圧電体2と、これら各圧電体2の互いの対向面にそれぞれ形成された電極3a、3bとで構成される。各電極3a、3b間に電圧を印加することにより、各圧電体6には図示白抜き矢印方向への厚みすべり変形が生じ、微小変位素子7全体としてねじり変位を生じさせることができる。
請求項（抜粋）：
基板の一面に同一の円周上に位置するように配置された複数個の圧電体と、前記各圧電体の互いに対向する各側面にそれぞれ設けられた電極とを有し、前記各圧電体はそれぞれ、柱状の構造体であり、圧電性分極軸が前記基板の一面に対して垂直方向に配向されていることを特徴とする微少変位素子。
IPC (5件)：
G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01J 37/28
, H01L 41/09
, H02N 2/00
