特許

J-GLOBAL ID：200903008267703040

板状部材の搬送装置

発明者： 藤野 孝司
出願人/特許権者： 第一施設工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-346785
公開番号（公開出願番号）：特開2004-179580
出願日： 2002年11月29日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：

【課題】板状部材に塵や傷を発生させることなく、生産性を高く維持しつつ少ないエアー量で搬送可能な板状部材の搬送装置を提供する。【解決手段】上面が平面状で気体の通過する多孔材11を設け、圧力気体の送り込まれる本体10の上部に多孔材11を取り付け、多孔材11を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって多孔材11の平面と対面する板状部材1を浮遊させるようにし、多孔材11に隣接する遮蔽板9を設けた。これによって多孔材11から噴出した気体が板状部材に沿って流れ、遮蔽板9の上面にも気体層が形成され、少ない気体流量で大きな浮上力を得ることができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの平面部を有し気体の通過する多孔材を設け、圧力気体の送り込まれる本体の上部に前記多孔材を前記平面部が上を向くように取り付け、前記多孔材を通して圧力気体が噴き出されるようにし、この圧力気体によって前記平面と対面する板状部材を浮遊させるようにし、前記多孔材から噴出し前記板状部材に沿って流れた気体によって気体層を形成する遮蔽板を設けた板状部材の搬送装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/304

FI (4件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 J ,  H01L21/304 648A

Fターム (11件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA53 ,  5F031GA62 ,  5F031LA03 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18 ,  5F031PA26