特許

J-GLOBAL ID：200903008269586644

架橋されたポリマー

発明者： ハンス-トーマス・シヤハト ,  ノルベルト・ミユンツエル
出願人/特許権者： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-098487
公開番号（公開出願番号）：特開平8-305025
出願日： 1996年04月19日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【課題】 高い加工安定性、高コントラストおよび良好な解像度のDUVフォトレジスト用のバインダーの提供。【解決手段】 水性アルカリ現像液に不溶性であり、そして式(I)【化1】(式中、R2は水素、C1〜C18アルキル、C5〜C10シクロアルキル、C5〜C14アリール、C6〜C30アラルキルであり、R3はC1〜C18アルキル、C5〜C10シクロアルキル、C5〜C14アリール、またはC6〜C30アラルキルであり、これは、所望により一つまたはそれ以上のヒドロキシル基もしくはニトロ基によって、または一つまたはそれ以上のハロゲン原子によって置換されているアルキル、シクロアルキル、アリールまたはアラルキル基であることができ、そしてXはk+l価の有機基であり、kは1〜5の数であり、そしてlは0〜4の数である)の構成単位を含み、酸との反応によって得られる開裂した生成物が水性アルカリ現像液に可溶性であるような量であるポリマーは高い加工安定性、高コントラストおよび良好な解像度のDUVフォトレジスト用のバインダーとして適切である。

請求項（抜粋）：

水性アルカリ現像液に不溶性であり、そして式(I)【化1】(式中、R2は水素、C1〜C18アルキル、C5〜C10シクロアルキル、C5〜C14アリール、C6〜C30アラルキルであり、R3はC1〜C18アルキル、C5〜C10シクロアルキル、C5〜C14アリール、またはC6〜C30アラルキルであり、これは、所望により一つまたはそれ以上のヒドロキシル基もしくはニトロ基によって、または一つまたはそれ以上のハロゲン原子によって置換されている、アルキル、シクロアルキル、アリールまたはアラルキル基であることができ、そしてXはk+l価の有機基であり、kは1〜5の数であり、そしてlは0〜4の数である)の構成単位を含み、酸との反応によって得られる開裂した生成物が水性アルカリ現像液に可溶性であるような量である、ポリマー。

IPC (7件)：

G03F 7/039 501 ,  C08F 12/22 MJU ,  C08G 65/00 NQC ,  C08G 83/00 NUW ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06

FI (7件)：

G03F 7/039 501 ,  C08F 12/22 MJU ,  C08G 65/00 NQC ,  C08G 83/00 NUW ,  G03F 7/004 503 ,  H05K 3/06 H ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特許第4713441号