走査プローブ顕微鏡のマルチプローブヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347984
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201369
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】試料各部の表面を多角的に観察できる走査プローブ顕微鏡のマルチプローブヘッドの提供。【構成】マルチプローブヘッド10は、シリコン基板11上に円周上に配置されている6本のプローブ12〜17で構成され、駆動回路18〜23が設けられており、配線も含めて、シリコン基板11上に各プローブ12〜17とともに半導体プロセスを用いて作製した。アーム24〜29の先端には、各々探針30〜35が設けられている。各プローブ12〜17は点対称位置に設けられているが、各々少しだけ回転することができ、試料を走査するプローブを取り替えて異なる方式で測定、同時にいろいろなポイントを測定等、多角的に試料を観察できる。各プローブ12〜17は、各々の周囲に設けた電極に電圧を印加して静電的に回転駆動される。また、各アーム24〜29は各々に形成したピエゾ素子により圧電駆動され、先端の各探針30〜35の精密な位置決めを行なう。

請求項（抜粋）：

先端に探針を形成し且つピエゾ素子を積層したアーム部と内側を基板上に支持されたリング部とからなり、このリング部の外周に配した複数の電極に順次静電気的に吸着されることで転動可能な複数のプローブを円周状に配置したマルチプローブヘッドであって、前記複数のプローブが各々前記転動動作によって回転移動し、試料上の複数の点において前記ピエゾ素子を駆動して前記探針が試料を走査することを特徴とする走査プローブ顕微鏡のマルチプローブヘッド。

前のページに戻る