特許
J-GLOBAL ID：200903008282004662
金属材料のガス窒化方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-320011
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157830
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：
【要約】【課題】 ワークの酸化を炉内全域に亘って均一に阻止できるので後工程の窒化も均一に行える金属材料の窒化方法及びその装置を提供する。【解決手段】 真空ポンプと加熱ヒーター及び水素キャリヤーガス供給系とを備えた真空加熱炉と;弗素系ガス及び不活性ガスを炉内に供給する給気系と反応ガスを炉外排出する排気系と加熱ヒーターとを備えた弗化室1と;NH3 ガス及び変性ガスを供給する給気系と反応ガスを排出する排気系と加熱ヒーターとを備えた窒化室2と;冷却用窒素ガスを供給する給気系と窒素ガスを排気する排気系とを備えた冷却室3とからなり、真空雰囲気下で炉内を減圧すると共に、金属マグネシウム粉末もしくはマグネシウム合金を炉中で加熱して洗浄・還元する第1工程と;弗素系ガスもしくは弗素系ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気下で加熱して弗化処理する第2工程と;アンモニアガス及び変性ガスの混合ガス雰囲気下で加熱して窒化処理する第3工程と;冷却窒素ガスを炉内に流下して冷却させる第4工程とから成る。
請求項（抜粋）：
金属材料を炉中加熱処理するに際して、真空雰囲気下で炉内を減圧すると共に、金属マグネシウム(Mg)粉末もしくはマグネシウム合金を炉中で加熱して洗浄・還元する第1工程と;弗素系ガスもしくは弗素系ガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気下で加熱して弗化処理する第2工程と;アンモニア(NH3 )ガス及び変性ガスの混合ガス雰囲気下で加熱して窒化処理する第3工程と;冷却窒素(N2 )ガスを炉内に流下して冷却させる第4工程と;から成ることを特徴とする金属材料のガス窒化処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
