感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003445
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206692
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】高感度でアルカリ水溶液による高解像度の現像が可能な感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】 (a)下記一般式(I)で示される各構造単位を有するポリアミド酸エステル、(b)化学線により重合可能な炭素-炭素二重結合を含む化合物、および(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物を製造する。【化1】(X1、X2、X3は4価の有機基、Y1、Y2、Y3は2価の有機基、R1、R2は二級炭素を結合点として持つ感光性基)

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(I)で示される各構造単位を有するポリアミド酸エステル;100重量部、【化1】[式中、X<SB>1</SB>、X<SB>2</SB>及びX<SB>3</SB>は4価の有機基であって、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。Y<SB>1</SB>、Y<SB>2</SB>及びY<SB>3</SB>は2価の有機基であって、それぞれ同じでも異なっていてもよい。R<SB>1</SB>及びR<SB>2</SB>は下記式(II)で示される構造の二級炭素を結合点として持つ感光性基であって、R<SB>1</SB>,R<SB>2</SB>はそれぞれ同じでも異なっていてもよい。【化2】(A: 化学線により重合可能な炭素-炭素二重結合を含む1価の有機基B: 化学線により重合可能な炭素-炭素二重結合を含まない1価の有機基)x、y、zは各構造単位のモル百分率であって、10<x<90、0≦y<80、10<z<90、x+y+z=100である。](b)化学線により重合可能な炭素-炭素二重結合を含む化合物;1〜100重量部、および、(c)光重合開始剤;1〜15重量部、を含む感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/037 , C08F 2/50 , C08F290/14 , C08G 73/12 , G03F 7/027 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/037 , C08F 2/50 , C08F290/14 , C08G 73/12 , G03F 7/027 , H01L 21/30 502 R

Fターム (102件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA13 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC12 , 2H025BC14 , 2H025BC31 , 2H025BC43 , 2H025BC46 , 2H025BC51 , 2H025BC65 , 2H025BC69 , 2H025BC82 , 2H025BC83 , 2H025BC85 , 2H025CA00 , 2H025FA17 , 4J011QA13 , 4J011QA17 , 4J011QA19 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA37 , 4J011QB17 , 4J011QB20 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA41 , 4J011SA51 , 4J011SA64 , 4J011SA90 , 4J011TA07 , 4J011UA01 , 4J011WA01 , 4J027AC03 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027AD03 , 4J027AJ08 , 4J027BA17 , 4J027BA19 , 4J027BA23 , 4J027CB10 , 4J027CC03 , 4J027CD10 , 4J043PA04 , 4J043PA05 , 4J043PA08 , 4J043PA19 , 4J043PC035 , 4J043PC135 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043RA06 , 4J043SA06 , 4J043SB03 , 4J043SB04 , 4J043TA12 , 4J043TA13 , 4J043TA22 , 4J043TA31 , 4J043TA32 , 4J043TB03 , 4J043TB04 , 4J043UA031 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA052 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA132 , 4J043UA142 , 4J043UA252 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA331 , 4J043UA332 , 4J043UA361 , 4J043UA382 , 4J043UA511 , 4J043UA712 , 4J043UA761 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB402 , 4J043VA021 , 4J043VA041 , 4J043ZA60 , 4J043ZB03 , 4J043ZB11

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