特許

J-GLOBAL ID：200903008288788886

基板保持方法及び装置、及びそれを備えた露光装置

発明者： 雨宮 恒彦 ,  清水 賢二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-169696
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012663
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、基板を保持する基板保持方法及び装置、及び基板保持装置を備え、マスクのパターンを基板に転写する露光装置に関し、装置を交換しなくてもレジストのパーティクルの発生を防止して多様な基板寸法に対応して複数の大きさの基板を保持できる基板保持方法及び装置、及びそれを備えた露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】保持面7上でほぼ同一高さの平面に形成されて縦横に並ぶ複数の凸状の基板支持部2を有し、複数の基板支持部2間で縦横に形成される凹部空間SにガラスプレートPのエッジ部を位置させてガラスプレートPを吸着保持することができるように構成する。

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持装置において、縦横若しくは同心円状若しくは放射状に設けられた複数の凸状の基板支持部を有し、前記複数の基板支持部間で形成される空間に前記基板のエッジ部を位置させて前記基板を保持することを特徴とする基板保持装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  G02F 1/1333 500 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A ,  G02F 1/1333 500 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 C ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (8件)：

3C016DA02 ,  5F031AA10 ,  5F031FF01 ,  5F031KK04 ,  5F046AA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10