特許

J-GLOBAL ID：200903008291236681

放射線検出器の製造方法

発明者： 戸波 寛道
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-275847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090464
出願日： 2000年09月12日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 X線を直接電荷信号に変換するX線変換層を用いた放射線検出器の生産性を向上し、低コストでX線変換効率の良い検出器を製造できる方法を提供する。【解決手段】 ダイシング可能な金属薄板上に、電極形成されたCdZnTeからなるX線変換層を接着した後、1チャンネル分の四角柱形状に切りだした金属薄板チップ4a上のCdZnTeチップ1aを、性能検査して分別する。そして、基板7にフレキシブルケーブル8を有したフレキシブル基板を、くし状治具13の凹部にセットし、くし部11が、金属薄板チップ4a部分をガイドするように、CdZnTeチップ1a付きの金属薄板チップ4aを、基板7上に接着していく。接着後くし状治具13を取り去り、ワイヤボンディング14によって、端子9と金属薄板チップ4aを電気接続する。

請求項（抜粋）：

上下面に電極を有しX線を直接電荷信号に変換するX線変換層と、ダイシング加工可能な金属薄板、もしくは金属膜が蒸着されたダイシング加工可能な絶縁性薄板とを接着および電気的導通をとり、前記薄板と共に1チャンネル分の四角柱形状に切りだし、その後、くし状治具を用いて前記X線変換層以外の部分が当たり面となるように、基板上に位置決め接着を行い、くし状治具を外した後、前記基板上のフレキシブルケーブルのパッド部とX線変換層の電極部とを電気接続をして製作することを特徴とする放射線検出器の製造方法。

IPC (3件)：

G01T 1/24 ,  G01T 1/29 ,  H01L 31/09

FI (3件)：

G01T 1/24 ,  G01T 1/29 C ,  H01L 31/00 A

Fターム (16件)：

2G088EE02 ,  2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ04 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ23 ,  2G088JJ32 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ37 ,  5F088AB09 ,  5F088BA20 ,  5F088CB15 ,  5F088CB17 ,  5F088EA02 ,  5F088FA09 ,  5F088LA07