特許
J-GLOBAL ID:200903008317317588

紫外放射検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-227907
公開番号(公開出願番号):特開平8-094435
出願日: 1994年09月22日
公開日(公表日): 1996年04月12日
要約:
【要約】【目的】 光学フィルタなどを用いず構造が簡単で波長300nm以下に感度を持つ紫外放射検出器を実現する。【構成】 電極を両面に蒸着した第一の焦電フィルム2と、電極を両面に蒸着し、片面の電極上に黒色放射吸収塗料4を塗布し、第一の焦電フィルム2を透過した放射が黒色放射吸収塗料4に入射するように同軸状に配置した第二の焦電フィルム3と、第一の焦電フィルム2の前面に配置し、入力放射を変調する光チョッパ1と、第一および第二の焦電フィルム2,3の出力をそれぞれ電圧信号に変換する第一および第二のプリアンプ5,6と、第一および第二のプリアンプ5,6の出力の差分を出力する差動アンプを有する構成である。
請求項(抜粋):
電極を両面に蒸着した第一の焦電フィルムと、電極を両面に蒸着し、片面の電極上に黒色放射吸収材料を塗布し、前記第一の焦電フィルムを透過した放射が前記黒色放射吸収材料に入射するように同軸状に配置した第二の焦電フィルムと、前記第一の焦電フィルムの前面に配置し、入力放射を変調する光チョッパと、前記第一および第二の焦電フィルムの出力をそれぞれ電圧信号に変換する第一および第二のプリアンプと、前記第一および第二のプリアンプの出力の差分を出力する差動アンプとを有する紫外放射検出器。
IPC (3件):
G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01J 1/42

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