特許
J-GLOBAL ID：200903008319433542
磁気検出素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-246727
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090382
出願日： 1996年09月18日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 検出磁界感度を期待できるだけでなく、相対的に外部磁界の変化に対するインピーダンス変化分が小さくて、動作を安定にすることである。【解決手段】 浮遊容量を積極的に持たせるため接地導体層11に絶縁層13を積層してこの絶縁層13の上面に線状軟磁性薄膜15を積層する。接地導体層11の一端辺および他端辺の近傍に電流を流すための入出力端15-1および15-2を備える。
請求項（抜粋）：
予め定められた方向に沿って上・下両面を持つ誘電体板状部材と、この誘電体板状部材の上面の一部に所定の幅を持って前記予め定められた方向に伸びるように積層され両端が電流を流すための入・出力端である軟磁性薄膜とを備え、この軟磁性薄膜の入・出力両端間に電流を流す一方、前記軟磁性薄膜が前記予め定められた方向に交差する方向の外部磁界を受けたときに生じるインピーダンスの変化を検出する磁気検出素子であって、前記誘電体板状部材の下面に接地導体層を更に積層したことを特微とする磁気検出素子。
IPC (4件)：
G01R 33/02
, G11B 5/39
, H01F 10/08
, H01L 43/08
G01R 33/02 D
, G11B 5/39
, H01F 10/08
, H01L 43/08 Z
