特許
J-GLOBAL ID：200903008323002513
磁気記録媒体の表面検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-304388
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129842
出願日： 1992年10月19日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 磁気記録媒体の製品歩留りを向上させ得る磁気記録媒体の表面検出方法を提供する。【構成】 磁気記録媒体1の表面に対して所定の入射角θで光を照射するとともに、該磁気記録媒体の表面からの前記光の反射光を受光して該表面の状態を検査する表面検査方法である。前記反射光を受光する受光センサ12の受光角を、該入射角θよりも大きいか小さい偏倚設定角βに設定し、前記受光センサの受光量に基づき前記表面の良否を判定する。
請求項（抜粋）：
磁気記録媒体の表面に対して所定の入射角θで光を照射するとともに、該磁気記録媒体の表面からの前記光の反射光を受光して該表面の状態を検査する表面検査方法において、前記反射光を受光する受光センサの受光角を、該入射角θよりも大きいか小さい偏倚設定角βに設定し、前記受光センサの受光量に基づき前記表面の良否を判定することを特徴とする磁気記録媒体の表面検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G11B 5/84
