特許
J-GLOBAL ID：200903008326677830
一方向凝固多結晶組織を有するシリコンインゴットの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278830
公開番号（公開出願番号）：特開平11-116386
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：
【要約】【課題】 配向性の良い一方向凝固多結晶組織を有するシリコンインゴットを製造する方法を提供する。【解決手段】 ルツボ1の底部を貫通する底部貫通穴9を設け、この底部貫通穴9にシリコン種結晶を貫通させた状態で固着し、このシリコン種結晶4の一端部をチルプレート7に接触させた状態でルツボ1にシリコン原料2を充填し加熱することによりシリコン原料2を溶解した後、エリベータシャフト11を降下させることにより溶融シリコンをルツボ1の底部から凝固させる。
請求項（抜粋）：
ルツボをチルプレート上に載置し、シリコン原料を該ルツボに充填し加熱することによりシリコン原料を溶解し、ついでルツボ内の溶融シリコンをルツボの底部から上部に向かって冷却することにより一方向凝固多結晶組織を有するシリコンインゴットを製造する方法において、前記ルツボに底部を貫通する底部貫通穴を設け、この底部貫通穴にシリコン種結晶を貫通させた状態で固着し、このシリコン種結晶の一端部をチルプレートに接触させた状態でルツボにシリコン原料を充填し加熱することによりシリコン原料を溶解することを特徴とする一方向凝固多結晶組織を有するシリコンインゴットの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 28/06
, H01L 31/04 H
