半導体ウエハー用サセプター

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055843
公開番号（公開出願番号）：特開平6-268053
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】半導体ウエハー用のサセプターにおいて、半導体ウエハー上で熱量の出入りがあり、温度が変動するときに、半導体ウエハーの温度を制御できるようにすることである。【構成】サセプター1の基材2は緻密質セラミックスからなる。基材2の内部に熱電変換素子が埋設されている。好ましくは、この熱電変換素子が、P型半導体素子3とN型半導体素子4とからなる。熱電変換素子に電流を流し、吸熱又は発熱させることで、設置面2a上の半導体ウエハーの温度を調整する。

請求項（抜粋）：