ウェーハ用ホルダ、及び、ウェーハの吸着解放方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：開口宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-262271
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077993
出願日： 2001年08月30日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】ウェーハを静電破壊から保護して吸着及び解放を行うホルダを提供すること。【解決手段】ウェーハ用ホルダ10は、上表面に複数の流体流通孔が形成されたウェーハ保持プレート18を備えている。ウェーハ保持プレート18は、切替弁24,26を介して、流体排出機構28、流体供給機構30及び純水供給ユニット32に選択的に連通する。流体供給機構30は、二酸化炭素水を生成する混合ユニット36と二酸化炭素水の圧力及び流量を調節するレギュレータ38を備えている。第1の切替弁24を動作させると、レギュレータ38が二酸化炭素水を流体流通孔20に供給する。ウェーハ12は、ウェーハ保持プレート18上で純粋より比抵抗が小さい二酸化炭素水により浮上する。これにより、微細な素子を保護が可能になる。

請求項（抜粋）：

微細素子が形成されたウェーハを吸着及び解放するホルダにおいて、前記ホルダのウェーハ保持プレートが表面に少なくとも1つの流体流通孔を備えており、前記流体流通孔がウェーハを吸着する流体排出機構と吸着状態のウェーハを解放する流体供給機構と選択的に連通しており、前記流体供給機構が、水より比抵抗が小さい液体を生成する混合ユニットと、該混合ユニットの下流側で前記流体流通孔への圧力及び流量を調節するレギュレータを備えていることを特徴とする、ウェーハ用ホルダ。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/08 , B23Q 7/04 , H01L 21/304 622

FI (4件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/08 A , B23Q 7/04 K , H01L 21/304 622 H

Fターム (25件)：

3C016DA01 , 3C033BB03 , 3C033BB10 , 3C033HH27 , 3C033HH28 , 3C033HH30 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031HA13 , 5F031HA14 , 5F031HA32 , 5F031HA34 , 5F031HA48 , 5F031HA57 , 5F031HA58 , 5F031HA59 , 5F031HA60 , 5F031KA02 , 5F031KA11 , 5F031MA22 , 5F031PA21 , 5F031PA24

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