特許
J-GLOBAL ID：200903008346974520
金属酸化物感温抵抗膜の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-274613
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125507
出願日： 1996年10月17日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 金属酸化物の抵抗温度係数を比抵抗を変化させずに制御する。【解決手段】 金属酸化物の保護膜となるシリコン窒化膜は、成膜条件により内部応力を圧縮または引っ張り応力に制御することができる。金属酸化物への保護膜形成時に応力を制御することにより、金属酸化物の禁制帯が変化する。このため、圧縮応力が金属酸化物に働けば、抵抗温度係数は大きくなり、引っ張り応力が働く場合は逆に抵抗温度係数を小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
保護膜を有する金属酸化物感温抵抗膜の製造方法において、保護膜の内部応力が引っ張り応力となるように保護膜を形成することを特徴とする金属酸化物感温抵抗膜の製造方法。
IPC (4件)：
H01C 7/04
, H01L 21/316
, H01L 21/318
, H01L 35/00
H01C 7/04
, H01L 21/316 X
, H01L 21/318 A
, H01L 35/00 S
