直動軸受の駆動装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321808
公開番号（公開出願番号）：特開平9-158949
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】可動体の外力の変化に容易に追従して逆方向の荷重を負荷しバランスを保持すると共に、揺動部材の運動方向や速度変化に左右されず速度精度が向上する直動軸受の駆動装置を提供する。【解決手段】固定体19に案内されて可動体20が直線移動する直動気体軸受14と、可動体20の直線駆動装置13とを併設し、且つ可動体20に加わる一方向の外力(例えば重力)に釣り合わせる逆方向の推力を発生するボイスコイルモータ15を配設した。ボイスコイルモータ15の電流値を制御して重力の逆荷重の力を加え、力の不釣り合いを容易に調整できる。

請求項（抜粋）：

固定体に案内されて可動体が直線移動する直動軸受と該可動体の直線駆動装置とが併設されている直動軸受の駆動装置において、前記可動体に加わる一方向の外力に釣り合わせる逆方向の推力を発生し前記可動体に伝達するボイスコイルモータを備えたことを特徴とする直動軸受の駆動装置。

IPC (3件)：

F16C 32/06 , F16C 29/00 , H02K 41/02

FI (3件)：

F16C 32/06 A , F16C 29/00 , H02K 41/02 Z

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