特許
J-GLOBAL ID：200903008348159255
ワイヤソーの運転状況判別装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-328779
公開番号（公開出願番号）：特開平9-164524
出願日： 1995年12月18日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】ワイヤソーの運転状況を容易に判別することができるワイヤソーの運転状況判別装置を提供する。【解決手段】ワイヤソーの周囲全面を覆っている保護カバーの外面に設置された表示モニタ30にワイヤソーの各動作部の状態を模作したグラフィック画像が表示される。このグラフィック画像として、ワイヤリール50A、50Bと、ワイヤ案内装置のタッチローラ52A、52B及びガイドローラ54A、54Bと、溝付ローラ56と、ダンサローラ58A、58Bと、ガイドローラ60と、ワイヤ62と、ワーク送りテーブル64及びワーク66が表示される。上記ワイヤリール50A、50Bのワイヤの巻き取り径を示す横線の表示幅、、ワイヤ案内装置のタッチローラ52A、52B及びガイドローラ54A、54Bの表示位置、ダンサローラ58A、58Bの表示位置及びワーク送りテーブル64及びワーク66の表示位置は、実際のワイヤソーの状態に応じて変化する。これにより、ワイヤソーの運転状況を容易に判別することができる。
請求項（抜粋）：
ワイヤに被加工物を押し当ることにより該被加工物をウェーハに切断するワイヤソーにおいて、グラフィック画像を表示する表示手段と、前記ワイヤソーを構成する各動作部の状態を検出する検出部と、前記検出部によって検出された前記各動作部の状態に基づいて、前記各動作部を模式化したグラフィック画像によって前記ワイヤソーの運転状況を前記表示手段に表示する制御部と、から成ることを特徴とするワイヤソーの運転状況判別装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B28D 5/04 C
, B24B 27/06 D
