特許
J-GLOBAL ID：200903008354164007
薄膜検査装置とその検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-164752
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010727
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】 透明基板に被着した薄膜の検査装置とその方法に関し、膜厚の均一性検査の効率化を目的とする。【構成】 光源4,モノクロメータ5,モノクロメータ5に対向する光強度検出器6,薄膜3を被着した基板2を支持するステージ10, 照射光17の波長を制御する照射光コントローラ9,照射光17が薄膜3を走査するようにステージ10を駆動させるステージコントローラ11, 光強度検出器6が検出する検出光の波長を制御する検出光コントローラ12, ステージ10と照射光コントローラ9と検出光コントローラ(12)を制御し光強度検出器6からの出力信号をデータ処理する制御処理装置13, 制御処理装置13からの出力信号を可視データにする出力装置14および15とを具えて構成する装置、並びに、その装置を使用して薄膜3の透過光から薄膜の厚さ均一性を検査する方法。
請求項（抜粋）：
透明基板(2) に被着した薄膜(3) の厚さの均一性を光透過率の変化によって測定する方法であって、光源(4),特定波長の光を透過させるモノクロメータ(5),該モノクロメータ(5) を介して該光源(4) に対向する光強度検出器(6),該基板(2) を該モノクロメータ(5) と該光強度検出器(6) との対向間に支持するステージ(10), 該モノクロメータ(5) を透過して該薄膜(3) に照射する光(17)の波長を制御する照射光コントローラ(9),該薄膜(3) に照射する光(17)が該薄膜(3) の全面を走査するように該ステージ(10)を2軸方向に移動させるステージコントローラ(11), 該薄膜(3) を透過した透過光から該光強度検出器(6) が検出する検出光の波長を制御する検出光コントローラ(12), 該ステージ(10)と該照射光コントローラ(9) と該検出光コントローラ(12)を制御し該光強度検出器(6)からの出力信号をデータ処理する制御処理装置(13), 該制御処理装置(13)からの出力信号を可視データにする出力装置(14,15)とを具えたことを特徴とする薄膜検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/06
, G01B 11/30
, H01L 21/66
