特許
J-GLOBAL ID：200903008354241214
レーザ走査型顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-098460
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281893
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 ノイズを低減でき、微弱な信号であっても十分なS/Nを得ることができるレーザ走査型顕微鏡を提供する。【解決手段】 所定周波数のパルスレーザ光を出力するパルスレーザ装置210とレーザ光を試料5上で走査したときに試料5から発せられた光を検出して電気信号に変換するフォトマルチプライヤ280とを備えるレーザ走査型顕微鏡において、ロックインアンプ90を用いて、フォトマルチプライヤ280の出力信号280aからレーザ光の周波数成分に対応する信号94aだけを出力させるようにした。
請求項（抜粋）：
所定周波数のパルスレーザ光を出力するレーザ光源と、前記レーザ光を試料上で走査したときに前記試料から発せられた光を検出して電気信号に変換する光電変換手段と、前記光電変換手段の出力信号から前記レーザ光の周波数成分に対応する信号だけを出力させる信号取得手段とを備えることを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 21/00
, G01N 21/64 E
