特許
J-GLOBAL ID:200903008358886830

研削装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢葺 知之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-080533
公開番号(公開出願番号):特開平8-276358
出願日: 1995年04月05日
公開日(公表日): 1996年10月22日
要約:
【要約】【目的】 サブミクロンあるいはナノオーダーの研削が可能な研削装置を提供する。【構成】 ベッドに取り付けられた支持フレームと、支持フレームに設けられたガイド15、17と、ガイド15、17に案内されたスライダ23と、スライダ23の送り駆動装置25と、スライダ23に取り付けられた静止軸27と、静止軸27の中心線回りに回転可能に取り付けられた回転体29と、回転体29に取り付けられた研削ホイール35と、回転体29の回転駆動装置37と、研削ホイール35の位置を検出する研削ホイール位置検出装置43とを備えた研削装置において、ガイド15、17の案内中心線、スライダ23の送り駆動装置25の駆動力作用線、研削ホイール35の回転中心線、および研削ホイール位置検出装置43のスケール線がほぼ同一線上に位置している。
請求項(抜粋):
ベッドに取り付けられた支持フレームと、支持フレームに設けられたガイドと、ガイドに案内されたスライダと、スライダの送り駆動装置と、スライダに取り付けられた静止軸と、静止軸の中心線回りに回転可能に取り付けられた回転体と、回転体に取り付けられた研削ホイールと、回転体の回転駆動装置と、研削ホイールの位置を検出する研削ホイール位置検出装置とを備えた研削装置において、ガイドの案内中心線、スライダの送り装置の駆動力作用線、研削ホイールの回転中心線、および研削ホイール位置検出装置のスケール線がほぼ同一線上に位置していることを特徴とする研削装置。
IPC (3件):
B24B 41/00 ,  B24B 7/00 ,  B24B 13/00
FI (3件):
B24B 41/00 ,  B24B 7/00 ,  B24B 13/00 Z

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