特許
J-GLOBAL ID:200903008373335238

水晶振動ジャイロセンサー

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-121119
公開番号(公開出願番号):特開平10-311727
出願日: 1997年05月12日
公開日(公表日): 1998年11月24日
要約:
【要約】【課題】 従来の水晶振動ジャイロセンサーは電極構造が複雑なため、小型化低価格化に問題があった。また支持構造による振動への影響のためクリスタルインピーダンスが悪く角速度に対する検出能力が悪かった。【解決手段】 音叉形状の一方の腕に駆動電極を、他方の腕に検出電極を設け、駆動電極は腕の4面に、面積がほぼ等しくなるようかつ相対する電極が共通の極性となるように設け、検出電極は、稜線を含むあい隣り合う2面に連続して4箇所に設けかつ相対する電極が共通の極性となるよう構成すると共に、振動子の基部は音叉の腕の長さに等しいか長くし、その支持は、基部の中央部を根本から30パーセント以下の長さの範囲で行われる構造とした。
請求項(抜粋):
少なく共2本の腕を有する音叉形状の水晶振動子を形成し、前記腕の内の一方に駆動電極を設け、前記腕の内の他方に角速度により発生する電圧を検出する検出電極を設けることを特徴とする水晶振動ジャイロセンサー。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04

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