特許
J-GLOBAL ID：200903008375868713
パルス励起原子線とパルス紫外光の生成方法およびその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019922
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211898
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 表面科学を対象とする計測や材料の創製等の分野において有用な発明であって、例えば、物質表面や表面内部数層の電子状態を調べるためのプローブとして、または、表面化学反応により、物質表面の汚染物質の除去や表面への積層化合物の創製において好適に使用できるパルス化された励起原子線と紫外光とを高強度で得ることができる方法および装置を提供する。【解決手段】 先端にガス噴出孔(2a)が穿設されるとともに内部に針状電極(5)が配設された絶縁性ノズル(2)と、絶縁性ノズルのガス噴出孔から所定距離離れた位置に漏斗状で先端に開口部(8a)を備えたスキマー(8)とを具備してなり、真空中でガスを噴出する絶縁性ノズル中の電極とスキマー間でパルス放電を生起させ、パルス励起原子線とパルス紫外孔を同時に生成させる。
請求項（抜粋）：
真空中でガスを噴出する絶縁性ノズル中の電極とスキマー間でパルス放電を生起させ、パルス励起原子線とパルス紫外光を同時に生成させることを特徴とするパルス励起原子線とパルス紫外光の生成方法。
引用特許：
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