特許
J-GLOBAL ID：200903008384816440
走査型フォトントンネリング分光分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008187
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213909
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 導電性の有無に拘らず試料のナノメータオーダの形状情報と分光特性情報とを同時に得る走査型フォトントンネリング分光分析装置を提供する。【構成】 試料10の特定の成分に吸収される波長の第1の光Laおよび試料10に吸収されることのない波長の第2の光Lbが入力され、先端部でこれらの光を全反射するように設定された光プローブ1を、その先端部が試料10の表面に近接するように設ける。光プローブ1の先端部で第2の光Lbによるエバネッセント波が試料10によって散乱されて減衰した強度を第2の検出器3bにより検出し、この強度が一定になるように3次元可動ステージ6を上下方向に移動してフィードバック制御しつつ、第1の光Laによるエバネッセント波が試料10の特定の成分によって吸収される。
請求項（抜粋）：
分析されるべき試料に先端部を近接して配置され、内部に入力された光を前記先端部で全反射する光プローブと、前記試料に吸収されない波長に設定された第1の光と、この第1の光の波長とは異なる他の波長に設定された少なくとも1つの第2の光とを前記光プローブの内部に入力せしめる光源と、前記光プローブの先端部よりしみ出た後該光プローブに帰還するエバネッセント波の強度を前記第1および第2の光について検出する検出手段と、前記光プローブが前記試料の表面に沿って走査するように、該光プローブと該試料とを相対移動せしめる2次元走査手段と、該2次元走査手段による走査中に、前記検出手段により検出された前記第1の光によるエバネッセント波の強度を一定の値に維持させるように、前記光プローブの先端部と前記試料の表面との間の距離を調整するフィードバック制御手段と、前記検出手段により検出された前記第2の光によるエバネッセント波の強度に基づいて前記試料の分光分析を行う分析手段とを備えてなることを特徴とする走査型フォトントンネリング分光分析装置。
IPC (2件)：
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