特許

J-GLOBAL ID：200903008385270557

感圧素子およびその製造方法ならびに圧力センサ

発明者： 前原 謙作 ,  田中 治美 ,  加藤 臣男
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-196074
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038725
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 感圧素子を挟持する2個のホルダの各々の挟持面がずれたとしても、ノイズ成分による感圧素子の出力のばらつきが抑えられる圧力センサを提供する。【解決手段】 周縁部が平面形状で中心部が半球面形状の圧電素子2、3を挟持面が平面形状のホルダ12、13および14、15で挟持し、これらを該圧電素子の両面が同一方向を向くように、かつ同一方向の面が同一の分極極性になるようにして中ケース17内に配置して圧力検出部を形成する。

請求項（抜粋）：

周縁部が略平面で中心部が曲面である形状を有する感圧素子。

IPC (6件)：

G01L 9/00 ,  G01F 1/20 ,  G01F 1/32 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/193

FI (6件)：

G01L 9/00 C ,  G01F 1/20 E ,  G01F 1/32 M ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 102