特許
J-GLOBAL ID：200903008386043082
元素分析用プラズマトーチ及びこれを用いた元素分析方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-135366
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005555
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】プラズマを利用した発光分析装置や質量分析装置において、フッ酸を含む試料溶液中の珪素を精度良く定量分析できるプラズマトーチを提供する。【構成】耐フッ酸性、耐熱性かつ耐高周波性材料であるアルミナで形成された管状部材1〜3を同心円状に支持台5に嵌合してプラズマトーチ14を構成する。嵌合部は複数のO-リング9により気密に保たれ、且つ管状部材相互の軸ずれを防止する。プラズマ炎11を生成するガスは、支持台5に設けられた流路7、8によりプラズマトーチ内に供給される。試料溶液は霧化されて管状部材3からプラズマ炎11の中心に導入され、励起、イオン化されて分析される。【効果】シリコン半導体プロセスにおけるドーパントプロファイル等の正確な測定を可能とすることにより、半導体製品の品質向上に有効なデータを提供する。
請求項（抜粋）：
耐フッ酸性、耐熱性及び耐高周波性の材料からなる管状部材と、該管状部材を同心円状に嵌合するための支持台とで構成され、該支持台は嵌合された管状部材の内部にガスを導入する流路を有することを特徴とする元素分析用プラズマトーチ。
IPC (3件)：
G01N 21/73
, G01N 27/62
, H05H 1/30
