特許

J-GLOBAL ID：200903008387641790

表面測定器と組み合わされた走査型プローブ顕微鏡

発明者： 伊東 修一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-035461
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228071
出願日： 2000年02月14日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】測定所要時間が短縮された走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡は、試料Sをxy方向に移動し得るxyステージ104と、自由端にプローブ106を有するカンチレバー108を備えている。カンチレバー108を支持するヘッド114は、これをz方向に移動し得るz圧電体124と、xy方向に移動し得るxy走査機構126を介して、SPM用zステージ130に支持されている。同装置は、試料Sの表面を光学的に測定し得る表面測定器を含んでおり、その対物レンズ134はレボルバー138を介して表面測定器用zステージ138に支持されている。コントローラー144は、表面測定器用zステージ138の移動量に基づいて試料Sとプローブ106の間のz方向の距離を測定し得るとともに、表面測定器の測定中心とプローブ106の先端の間のxy方向の距離を測定し得る。

請求項（抜粋）：

表面測定器と組み合わされた走査型プローブ顕微鏡において、表面測定器のz粗動機構と、試料表面とプローブの間のz方向の距離を測定するz方向距離測定手段と、表面測定器の視野中心とプローブの先端の間のxy方向の距離を測定するxy方向距離測定手段と、試料をxy方向に移動するための試料移動手段とを備えており、z方向距離測定手段により測定されるz方向の距離に基づいて、試料に対するプローブの接近動作を行なうとともに、xy方向距離測定手段により測定されるxy方向の距離に基づいて、試料移動手段により試料を移動させて、表面測定器の測定中心とプローブの先端の位置合わせを行なう、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G02B 21/00

FI (4件)：

G01N 13/10 B ,  G01N 13/10 F ,  G01B 21/30 Z ,  G02B 21/00

Fターム (22件)：

2F069AA04 ,  2F069AA13 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ19 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2H052AD04 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19 ,  2H052AF03 ,  2H052AF11