特許

J-GLOBAL ID：200903008388826017

進行波型光変調装置

発明者： 重田 淳二 ,  白井 正敬 ,  辻 伸二 ,  有本 英生
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (3件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助 ,  佐々木 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-172766
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020708
出願日： 2002年06月13日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：

【目的】本発明の目的は、半導体光変調器を搭載した半導体チップを用いて広帯域で反射特性の良い光変調装置を、より小さい半導体チップ面積で提供することである。【構成】本発明の代表例は、高周波線路を形成した絶縁性基板上に進行波電極電界吸収型半導体光変調器を形成した半導体チップを載置し、高周波線路の少なくとも一部の特性インピーダンスを変調器駆動回路の出力インピーダンスおよび光変調器部のインピーダンスよりも大きくなす。こうして、面積の小さい半導体チップをもちいて、反射特性にすぐれた広帯域光変調装置を提供することが出来る。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

絶縁性基板に、高周波線路と、少なくとも電界吸収型半導体光変調器が形成された半導体チップとを、少なくとも有し、 前記電界吸収型半導体光変調器は、進行波型電極と、この進行波型電極と重畳し且つこの進行波型電極と平行な領域を有する光導波路とを、少なくとも有し、 前記高周波線路は、前記電界吸収型半導体光変調器の進行波型電極の第1の端部に少なくとも電気的に接続され、 前記高周波線路に変調器駆動回路より高周波信号を入力して前記半導体光変調器を駆動が可能であり、 且つ、前記高周波線路の少なくとも一部の特性インピーダンスが、前記変調器駆動回路の出力インピーダンスよりも大きいことを特徴とする進行波型光変調装置。

IPC (4件)：

G02F1/015 ,  G02F1/025 ,  H01S5/022 ,  H01S5/026

FI (4件)：

G02F1/015 502 ,  G02F1/025 ,  H01S5/022 ,  H01S5/026 616

Fターム (21件)：

2H079AA02 ,  2H079AA13 ,  2H079BA01 ,  2H079CA04 ,  2H079DA16 ,  2H079DA22 ,  2H079DA25 ,  2H079EA07 ,  2H079EA08 ,  2H079EB04 ,  2H079EB12 ,  2H079HA14 ,  2H079JA01 ,  2H079KA18 ,  5F073AA22 ,  5F073AB21 ,  5F073CA15 ,  5F073EA14 ,  5F073FA18 ,  5F073FA30 ,  5F073GA24