研磨布用ドレッサー及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361753
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179638
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】高い酸性の化学スラリーによっても、ダイヤモンド砥粒を保持する結合材が侵されず、金属の溶出による化学スラリーの汚染やダイヤモンド砥粒の脱落を生じさせない化学的機械的平面化研磨布用ドレッサーを提供する。【解決手段】珪素及び/または珪素合金からなる結合材4とダイヤモンド砥粒3とを混合し、成形、焼結することによって、ドレッシング面2aを構成する焼結体2を得る。この焼結体のダイヤモンド砥粒3の表面には、結合材4中の珪素とダイヤモンドとの反応焼結により生成された炭化物膜5が形成され、それにより上記焼結体におけるダイヤモンド砥粒と結合材とを強固に結合され、化学スラリーによっても結合材が侵されず、化学スラリーの汚染やダイヤモンド砥粒の脱落を生じさせない。

請求項（抜粋）：

珪素及び/または珪素合金からなる結合材とダイヤモンド砥粒とを混合し、成形、焼結することによって得られた焼結体によりドレッシング面が構成され、上記ダイヤモンド砥粒の表面には結合材中の珪素とダイヤモンドとの反応焼成により生成された炭化物膜を備え、それにより上記焼結体におけるダイヤモンド砥粒と結合材とが強固に結合されて成る研磨布用ドレッサー。

IPC (6件)：

B24D 3/00 310 , B24D 3/00 320 , B24D 3/00 330 , B24D 3/00 340 , B24B 53/12 , B24D 3/06

FI (6件)：

B24D 3/00 310 D , B24D 3/00 320 B , B24D 3/00 330 D , B24D 3/00 340 , B24B 53/12 Z , B24D 3/06 A

Fターム (7件)：

3C047EE19 , 3C063AA10 , 3C063BB02 , 3C063BB15 , 3C063BC02 , 3C063CC02 , 3C063EE26

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-271604
特公昭47-017964

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